全自动LED晶片切割后外观检测
SP-WI-T600S系列
基本参数
Basic Parameter
外 观 尺 寸:2100*1400*2000mm
使 用 条 件:220V交流电,0.6 KPa压缩空气,功率≤6KW,自带UPS
支 持 料 盒:4只料盒,支持子母环、wafer铁环和disco,铁环机械手自动上下料,料片自动旋转对正
检 测 模 式:AI+AOI双检测模式
检 测 项 目:双晶、大小边、mase不良、崩边崩角、第三金、Sio2脱/TO脱、发光区脏污、多金、背镀偏薄/背镀缺失、扩展条异常(断开、缺失弯曲、刮伤)、电极/针痕异常/缺失、外延缺陷、DBR、外延黑点、PV异常
适 用 场 景:适用于红黄光晶片、蓝绿光晶片正装和倒装晶片、光通讯芯片、VCSEL芯片等
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