SP-WI-FSI系列

基本参数

Basic Parameter

外 观 尺 寸：2220*1890*2260mm

使 用 条 件：220V单相交流电，功率6KW；气压0.5Mpa，-80Kpa

检 测 项 目：残胶，过显影，RDL短/断路，Bump变形受损，PI变色，各类金属残留，切割道chipping，peeling，隐裂等

适 用 场 景：适用光刻，刻蚀，薄膜沉积，清洗等晶圆制造环节有图形晶圆的亚微米级缺陷检查  

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