SP-WI-FSP系列
FSP系列是FSI系列的升级产品
FSP产品Highlight：
3D Measure Module
Linescan Module
AutoCAD Map Import
ADC System
SP-WI-FSI系列
FSI系列是高吞吐，高精度(亚微米级)半导体光学缺陷检测设备。
适用于IC, IGBT, MEMS, SiC,GaN等主流半导体6/8/12 inch晶圆的图形缺陷检测和三维尺度测量。
IC系列
